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■ ロードロック式周波数調整装置 SFE-B03-Ⅱ
ロードロック式周波数調整装置 SFE-B03-Ⅱ

   コンパクト設計
   高精度
   低価格
   高安定性
   高再現性

特 徴
1.
 
省スペース・高精度・低価格、タクトタイム0.4 s/pcs以下を実現しました。
     (※SMD3.2 × 2.5, 24 MHz, H1000 ppm/s, L50 ppm/s の場合)
2. 新型イオンガン (ビーム幅: 100 mm) 搭載で、標準24~32個同時処理が可能となりました。
3. 高精度・高安定・高再現性の搬送機構により、2.0 × 1.6以下の微小ワークも安定して生産できます。
4. FLモード (負荷容量自動演算モード) を搭載しています。
5. イオンガン本体、コンタクト機構のメンテナンス性が大幅向上しました。
6. 2室ロードロック方式を採用することで、処理室は常時真空に保持されているので、タクトタイムが真空排気及び大気開放の時間に依存しません。
7. オプションユニットとしてオーバードライブ機構付ローダー・アンローダー装置装着により、連続運転が可能となりました。
仕 様
対応可能ワーク 水晶振動子 水晶発信器 (3225, 2520, 2016, 1612, 1210)
音叉振動子 (4115, 3215, 2016)
装置構成 2室(仕込室, 処理室)インターバック式
搬送系
1軸 X方向のみ
排気系
8インチ TMP
イオンソース 100mmビーム矩形型 1式 → 24ビーム (4 mmピッチ)
計測器 ネットワークアナライザー/周波数カウンター 4台 (6端子/1台)
周調工程 1~4段階 (H, M, L, LL)

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。


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