1.
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省スペース・高精度・低価格・タクトタイム0.4s/pcs以下を実現しました。
(※SMD3.2×2.5 24MHz H1,000ppm/s L50ppm/sの場合)
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2. |
新型イオンソース(ビーム幅:100mm)搭載で、標準24〜32個同時処理が可能となりました。 |
3. |
高精度・高安定・高再現性の搬送機構の採用により、1.2×1.0以下の微小ワークも、安定して生産できます。 |
4. |
FLモード(負荷容量自動演算モード)を搭載しています。 |
5. |
イオンソース本体・コンタクト機構のメンテナンス性が大幅に向上しました。 |
6. |
2室ロードロック方式を採用することで処理室は常時真空に保持されているので、タクトタイムが真空排気及び大気開放の時間に依存しません。 |