水晶デバイス装置

■ バッチ式イオンビーム周波数調整装置　SFE-6000シリーズ

【特徴】 1. 本装置は、水晶振動子などのSMDデバイスの周波数調整を行う事を目的として開発されたものです。 2. 水晶振動子などの電極膜をイオンガンにて発生させたArイオンでエッチングし、それに伴う周波数の変化を計測する事により、所定の周波数帯まで調整を行います。 3. SMD水晶振動子の各種のサイズ（7.0×5.0mm～1.6×1.2mm）に対応可能です。 4. 昭和真空が長年培ってきた水晶振動子の周波数調整技術により、個別周波数調整が可能です。（各素子1ヶ毎に周波数を調整出来ます） 5. 省スペースを維持しながら、生産量に応じて各種バリエーションを用意しております。 6. 計測系はネットワークアナライザーとカウンターを搭載しています。 7. 処理室を大気開放せずに、ワーク、トレーの交換が出来るので、真空中で効率的な連続運転が可能となり、メンテナンスサイクルの向上を図っております。

【性能・仕様・主要諸元】 ●型式 SFE-6230C(T) SFE-6430C(T) SFE-6830C(T) C (クライオポンプ仕様) T (ターボポンプ仕様) C (クライオポンプ仕様) T (ターボポンプ仕様) C (クライオポンプ仕様) T (ターボポンプ仕様) ●寸法・重量 巾×奥行×高さ 1208×964×1097mm 1208×964×1097mm 1778×964×1097mm 装置重量 1000Kg 1000Kg 1100Kg ●性能 到達圧力(処理室) 10-4Pa台 排気時間 仕込室： 大気圧より40Pa迄 1分 1分 1分30秒 処理室： 6.7×10-3Pa迄 5分 10分 5分 10分 5分 10分 適用素子 SMD型　振動子/OSC 測定系 振動子仕様 ボード型ネットワークアナライザー 又は カウンター×2台 ボード型ネットワークアナライザー 又は カウンター×4台 ボード型ネットワークアナライザー 又は カウンター×8台 OSC仕様 カウンター×2台 カウンター×4台 カウンター×8台 振動子･OSC兼用仕様 ボード型ネットワークアナライザー ＋ カウンター 2台 ボード型ネットワークアナライザー ＋ カウンター 4台 ボード型ネットワークアナライザー ＋ カウンター 8台 処理数 トレー寸法(134×170)：360個×2 素子サイズ：5.0×3.2（240ヶ）、3.2×2.5（320ヶ）、2.5×2.0（384ヶ）※1 計測可能範囲 振動子仕様 2～300MHｚ (fr共振点が測定可能な素子) OSC仕様 1～225MHｚ (発振可能な素子) 調整範囲 2～200MHｚ (但し300MHｚでも対応可能) 調整精度 [H，M，L 3ステップ] ±2ppm (10～40MHｚ基準)　シャッター閉直後の値 [H，L 2ステップ] ±5ppm (10～40MHｚ基準)　シャッター閉直後の値 タクト [H，M，L 3ステップ] 5.5秒/1ヶ (調整量1000ppm以内) 3.0秒/1ヶ (調整量1000ppm以内) 2.0秒/1ヶ (調整量1000ppm以内) [H，L 2ステップ] 3.5秒/1ヶ (調整量1000ppm以内) 2.0秒/1ヶ (調整量1000ppm以内) 1.5秒/1ヶ (調整量1000ppm以内) ※20MHｚ基準。ビーム照射時間、1秒以下とします。時間制御モードの場合は、保証外となります。 イオンガン IGF-001　熱陰極タイプ　水冷式 ●所要諸元 所要電力量 3相,200V, 7.8KVA(22.5A) 3相,200V, 5KVA(14A) 3相,200V, 7.8KVA(22.5A) 3相,200V, 5KVA(14A) 3相,200V, 7.8KVA(22.5A) 3相,200V, 5KVA(14A) 所要水量 約0.36m3/h 差圧にて 0.2MPa以上 約0.24m3/h 差圧にて 0.2MPa以上 約0.36m3/h 差圧にて 0.2MPa以上 約0.24m3/h 差圧にて 0.2MPa以上 約0.48m3/h 差圧にて 0.2MPa以上 約0.24m3/h 差圧にて 0.2MPa以上 圧縮空気 0.5～0.7MPa ガス N2ガス：圧力0.15MPa　リーク用 Arガス：圧力0.2MPa以上

※1　他の取数についても対応可能ですのでご相談下さい。

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。

IQJ08101-0903