●寸法・重量 |
外形寸法 |
W1700mm × D900mm × H1700mm |
装置重量 |
約 1200 kg |
●所要諸元 |
所要電力量 |
3相,200V,22.4KVA (64.7A) |
所要水量 |
入圧:0.3~0.4MPa 差圧:0.2MPa以上
水温:20~25℃ (但し運転中結露無き事) 流量:約0.66m3/hr (11L/min) |
所要空圧 |
供給圧:0.5~0.7MPa 設定圧:0.5MPa |
所要ガス (N2ガスリーク用) |
供給圧:0.2MPa以上 設定圧:0.05~0.1MPa |
●性能 |
到達圧力 |
6.7×10-4Pa以下 (2槽排気) |
排気時間 |
6.7×10-3Pa迄20分 (2槽排気) |
最高温度 |
300℃ (試料用トレーの中央部の表面温度) |
常用温度 |
250℃ (試料用トレーの中央部の表面温度) |
温度調整精度 |
±15℃以内
(250℃にて、試料用トレーの中央部の表面温度) |
昇温時間 |
常温より250℃に達する迄約60分 |
処理数 |
60枚 (ワークトレー170mm×134mmにて) |
排気系 |
ターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ |
真空計 |
ペニング真空計×2、ピラニー真空計×2 |