●寸法・重量 |
外形寸法 |
W1900mm×D1500mm×H2000mm |
設置面積 |
約W1900mm×D2170mm×H2230mm
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装置重量 |
約2500kg |
●所要諸元 |
所要電力量 |
AC200V±10%/220V±10%三相三線式 約21KVA(61A) |
所要水量 |
入圧:0.3~0.4MPa 差圧:0.2MPa以上 水温:20~25℃(但し運転中結露無き事)
流量:約1.2m3/hr(20L/min) |
所要空圧 |
供給圧:0.5~0.7MPa 設定圧:0.5MPa |
所要ガス |
(1)N2ガス(真空槽ベント用)
供給圧:0.2MPa以上 設定圧:0.2~0.3MPa
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(2)Heガス(トレー冷却促進用) 供給圧:0.05MPa以上
設定圧:0.02~0.03MPa
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●性能 |
到達圧力 |
9.9×10-4Pa以下(アニール室) |
排気時間 |
1.2×10-2Pa迄15分以下(アニール室) |
最高温度 |
アニール室:350℃(ヒーター棚表面温度) ※1 |
常用温度 |
アニール室:270℃(ヒーター棚表面温度) ※2 |
均熱温度 |
270℃±7.5℃(ヒーター棚表面温度) ※3
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タクトタイム |
18分以内/トレー ※4 |
排気系 |
ターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ、メカニカルブースターポンプ |
真空計 |
電離真空計×1、ピラニー真空計×3
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※1.2 温調器指示値の値となります。
※3 ヒーター棚にトレーを搭載していない状態での温度分布です。
※4 ワーク搭載数はトレー1枚当り750個とします。加熱時間を2時間とした設定で、2枚目以降のトレーが排出される間隔の時間です。取出室での冷却促進用ガスの種類により、タクトタイムに影響が出る場合があります。日本アビオニクス製トレー(220×140)を使用します。
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