検証実験Pre-purchase demonstration

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Pre-purchase demonstration

お客さまに最適な装置をご提案するため、ご要望に応じてご注文いただく前に検証実験を承っております。
検証実験は、スパッタリング、蒸着、ALD、トリミング、アッシングなど多様な方法に対応しております。
真空装置を製造して70年の歴史と最先端企業との共同研究などで培った高度な薄膜形成技術をもとに、お客さまの目的やご要望に応じた対応をさせていただきます。

スパッタリング

蒸着

ALD

トリミング

アッシング

また、分光エリプソメーターや蛍光X線分析装置など、保有している多数の計測装置を用いて分析や測定も行っております。

Research And Development Environment

研究開発や検証実験を行う為の開発棟及びクリーンルームが本社相模原工場の延床面積の約20%を占めています。
また、多数の研究開発用装置を所有しており、お客さまの様々なニーズに対応できる体制を整えております。

開発棟外観
開発棟内クリーンルーム
開発棟内クリーンルーム
計測室
開発棟外観
開発棟内クリーンルーム
開発棟内クリーンルーム
計測室

Flow

Cases

Ti/TiO2装飾膜

研究・開発

Pre-purchase demonstration inquiries

株式会社昭和真空
営業本部