1953年 |
前身である小俣真空機器研究所設立。 |
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1955年 |
油回転真空ポンプ「MP-250」の製造開始。
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1958年 |
昭和眞空機械株式会社を設立。 |
1960年 |
水晶振動子用真空蒸着装置の第1号機完成。 |
1961年 |
光学用真空蒸着装置の第1号機完成。 |
1967年 |
油回転ポンプ「MP-250」神奈川県工業展にて優秀賞受賞。 |
1971年 |
本社・工場を相模原市大野台に移転。
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1974年 |
水晶振動子用周波数調整全自動真空蒸着装置
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1975年 |
営業部門を独立させ株式会社昭和眞空を設立。
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1977年 |
機械加工部門を独立させ、昭和精工株式会社を設立。 |
1978年 |
クォーツ時計用の周波数調整用全自動真空蒸着装置を開発。 |
1979年 |
光学用多層膜真空蒸着装置の「SGC-22SA」をフルモデルチェンジする。
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1983年 |
相模原市上溝に昭和眞空上溝工場(740m²)を新築。
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1984年 |
MCFクリスタル周波数調整用真空蒸着装置「SFC-71M」が第1回神奈川工業技術大賞を受賞。 |
1986年 |
神奈川県標準工場に認定される。
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1991年 |
中小企業庁モデル工場に指定される。 |
1994年 |
第11回神奈川工業技術開発大賞奨励賞をミニインライン方式高周波・高精度水晶調整装置「SRC-01」が受賞。 |
1995年 |
水晶用ベース電極膜付用スパッタリング装置「SPH-2500」を完成。 |
1996年 |
MCF用インライン方式水晶周波数調整装置「SRM-2111C」を完成。 |
1997年 |
社名を株式会社昭和眞空より、株式会社昭和真空へ変更する。 |
2000年 |
株式をJASDAQ(店頭)市場へ上場。
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2001年 |
「ISO9001:2000」の認証を全事業所で取得。 |
2002年 |
中国上海市に昭和真空機械(上海)有限公司を設立。 |
2003年 |
中国上海市に昭和真空機械貿易(上海)有限公司を設立。 |
2004年 |
相模原工場建設。 |
2005年 |
相模原工場内に本社を移転する。
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2006年 |
経済産業省から「明日の日本を支える元気なものづくり中小企業300社」の一社に認定される。
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2008年 |
設立50周年式典を東京ディズニーランドで開催。 |
2010年 |
株式会社SPTを吸収合併。 |
2011年 |
水晶デバイス用周波数調整装置が「九都県市のきらりと光る産業技術」を受賞。
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2012年 |
大野台第二工場・営業所を売却。営業部門は本社・相模原工場へ移転。 |
2014年 |
富士見物件(土地・建物)を売却。 |
2015年 |
北陸サービスセンターを開設。 |
2016年 |
光学薄膜用ALD装置「Genesis-AR Series」を開発。 |
2018年 |
大野台パーツセンターを売却。 |
2020年 |
相模原工場に研究開発棟(1,486m²)を新築。
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2020年 |
経済産業省認定「グローバルニッチトップ企業100選」に選定される。
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2022年 |
東京証券取引所市場区分見直しにより、JASDAQ(スタンダード)からスタンダード市場へ移行。 |