SPE-6000 시리즈
매엽식(Cassette to Cassette Type) RIE 장치 표준 모델
SPE-8000 시리즈
배치형 RIE 장치 표준 모델
SPE-2136A
φ6인치 웨이퍼 2장 동시 처리로 높은 생산성 실현
SST-M01T
이온빔에 의한 기판의 평탄화・평활화
