SFE-B03-Ⅱ
주파수 조정 장비의 글로벌 스탠다드
SFE-X2012
세계 최고 수준의 택트 타임 실현
SAF-52T-Ⅱ
생산 효율화 / 공간 절약
SAF-X1201
인라인으로 수정진동자의 열처리가 가능한 고진공 어닐링 장비
Lafio/APEX Series
안정적이고 고정밀한 광학 막두께 제어 실현
성막 중 기판 온도를 실시간으로 측정
COÅT LEADER
고정밀 막두께 모니터링 및 증착 속도 제어 가능
SNC 시리즈
지상에서 우주의 환경을 장비