증착 장치 Vacuum Deposition Equipment
진공증착장치
Mega-Sapio1700 (SGC-MS1700i)
생산량 증대를 추구하여 1대로 2대 분의 생산성을 실현
진공증착장치
Sapio 시리즈
（SGC-S900/1300/1550/1700）
배치 간 성막 재현성을 추구한 고성능 모델
진공 증착 장비
SEC-22C
금속 증착의 표준 모델
소형진공증착장치
SEC-06D / SEC-08C
금속 박막용 증착 장비의 컴팩트 모델
AuSn증착장치
SEC-S900C
Au/Sn의 2원 동시 증착이 가능한 증착 장비
내 플라즈마막용 증착 장치
SEC-S1300i
내부식성이 뛰어난 Y₂O₃ 후막을 성막하여, 쉴드막(보호막) 형성이 가능합니다.
Batch식 진공 증착 장치
SDC-1300F
장식막 등에 적합한 표준 모델
이온 플레이팅 장치 Ion Plating Equipment
스퍼터링 장치 Sputtering Equipment
로드록 방식 통과형 스퍼터링 장치
SPH-2500T-Ⅱ
두 종류의 박막을 양면에 동시 성막할 수 있는 스퍼터링 장치
로드록 방식 통과형 스퍼터링 장치
SPH-2410-Ⅱ
두 종류의 박막을 양면에 동시 성막할 수 있는 스퍼터링 장치
로드록 방식 캐러셀형 스퍼터링 장치
SPC-2507-Ⅱ
두 종류의 막을 한 면씩 성막할 수 있는 스퍼터링 장치
인라인형 스퍼터링 장치
SPH-5000 시리즈
대형 기판 양산용 스퍼터링 장치
매엽식 대형 스퍼터 장치
SPM 시리즈
매엽식 스퍼터링 장치
캐러셀형 고속 스퍼터링 중합 장치
SPP-155TC
소량 생산・짧은 사이클타임으로 운용 가능한 스퍼터링 장치
사출성형기 연동형 고속 스퍼터・중합 시스템
SPP Series
수지 기판에 대한 금속막, 보호막을 전자동으로 성막 가능
