무선 온도 모니터
성막 중 기판 온도를 실시간으로 측정
무선 온도 모니터는 부속 장치와 본체로 구성되며, 부속 장치에서 측정한 온도 데이터를 본체가 수신하여 PC로 전송합니다.
성막 중 기판 온도를 가열 기구의 온도 제어에 활용하는 것도 가능합니다.
특징
- 1. 무선 방식으로 온도 모니터링 가능
- 2. 소형 모듈(부속 기기)로 설치가 용이
- 3. 기판 온도를 기반으로 온도 제어 가능
- 4. 부속 기기 × 3대/ 본체
무선 온도 모니터는 부속 장치와 본체로 구성되며, 부속 장치에서 측정한 온도 데이터를 본체가 수신하여 PC로 전송합니다.
성막 중 기판 온도를 가열 기구의 온도 제어에 활용하는 것도 가능합니다.