사출성형기 연동형 고속 스퍼터・중합 시스템
SPP 시리즈
수지 기판에 대한 금속막, 보호막을
전자동으로 성막 가능
사출성형기와 본 장치를 연동하여 성형 → 금속막(Al) → 보호막(SiOx)을 간단히 전자동으로 성막합니다. 사출성형기와 동일 수준의 사이클타임을 구현함으로써 성형에서 성막까지의 공정을 원활하게 진행할 수 있습니다.
용도・응용 예시
자동차 헤드램프 리플렉터, 미러, 금속 장식막
특징
- 1. 병렬 처리: 독립된 2 Chamber의 진공 챔버로 구성되어 서로 다른 공정을 동시에 처리 가능
- 2. 사이클타임: 약 2분 (Al: 100nm + SiOx: 20nm)
- 3. 전자동화: 사출성형기 및 이송 장비와 연동 가능
사양
| 배기 펌프 | 스퍼터 챔버：RP+MBP+TMP 중합실： RP+MBP (TMP 옵션) |
|---|---|
| 설치 면적 | W4,000mm×D4,500mm×H2,400mm |
| 중량 | 4,600kg |
| 전원 용량 | AC200～220V 약 85kVA |
