인라인형 스퍼터링 장치
SPH-5000 시리즈
대형 기판 양산용 스퍼터링 장치
본 장치는 대형기판에 금속막, 보호막, 투명 도전막(ITO) 등을 성막하는 인라인형 스퍼터링 장치입니다.
용도・응용 예
박막 태양전지 패널 및 대형 기판에서의 각종 금속막, 산화막의 형성
특징
- 1. Loading Ch., Sputter Ch., Unloading Ch., Heating Ch, Cooling Ch. 의 5 챔버 구성
- 2. 최대 1,000mm×1,400mm 크기의 유리 기판 반송 가능
- 3. 갭리스(Gapless) 반송 방식으로 효율적인 성막 가능
- 4. 냉각실에서는 냉각 재킷을 활용한 기판 냉각 가능
- 5. 펄스화 유닛을 탑재한 스퍼터 전원으로 안정적인 방전 실현
- 6. 스퍼터실의 차압 격벽을 통한 압력 제어를 채용하여, 산화막과 금속막을 동일 챔버에서 성막 가능
- 7. 택트타임: 90초/장 (Ag: 120nm, AZO: 60nm 성막 시)
- 8. 타겟 교환용 전용 대차 포함
- 9. 로터리 캐소드 (옵션)
사양
| 배기 펌프 | RP＋MBP＋TMP |
|---|---|
| 설치 면적 | W20,000mm×D8,000mm×H2,000mm |
| 중 량 | 27,000kg |
| 전원 용량 | AC200V(3φ)／280kVA(800A) |