로드록 방식 캐러셀형 스퍼터링 장치
SPC-2507-Ⅱ
두 종류의 막을 한 면씩 성막할 수 있는
스퍼터링 장치
기판 반전 기구를 활용해 양면 성막 기구를 채택한 소형 캐러셀형 스퍼터링 장치입니다.
간헐 성막 방식이므로 저온 성막이 가능합니다. 130℃ 이하에서 저온성막이 가능해져 Cr 확산방지 대책 등에도 효과적입니다.
용도・응용 예시
각종 전자 부품에 대한 전극용 금속막의 형성
특징
- 1. 외형:W1,280mm×D1,150mm×H2,250mm
- 2. 통과형 SPH-2500T-Ⅱ에서 해소되지 않았던 열 문제는 스퍼터링 중에 온도 상승 억제로 저온 성막을 실현
- 3. 기판 회전・반전 기구는 자석에 의한 비접촉 동력 전달 방식（마그트란®）을 채용
※ 마그트란®은 ㈜F.E.C의 등록 상표입니다. - 4. 파워 변조 기능（회전 방향의 박막 두께 분포 조정용）（옵션）
- 5. 캐소드(3번째)（옵션）
장치구성
| 캐소드 | 5인치×7인치 2 set |
|---|---|
| 트레이 Size | (φ4용): 트레이 W120mm×L200mm |
| 증착 유효 범위 | (φ4용)：트레이 W100mm |
| 축 수 | (φ4용) : 12축 |
| 웨이퍼 수량 | (φ4용) : 12매 |
사양
| 배기 펌프 | RP＋CRYO |
|---|---|
| 설치 면적 | W1,280mm×D1,150mm×H2,250mm |
| 중 량 | 1,500kg |
| 전원 용량 | AC200～220V／17kVA(50A) |