아크 방전형 이온 플레이팅 장치
SIA-400T
표면 경화막 형성용 / 소량 생산기 및 실험기에 최적
아크 방전형 캐소드가 탑재된 이온 플레이팅 장치입니다.
TiN, TiAlN 경화막의 등의 증착이 가능합니다.
용도・응용 예
절삭 공구, 자동차 및 기계 부품, 각종 금형
특징
- 1. 절삭 공구 등의 표면 경화막(TiN, TiAlN막) 증착이 가능합니다.
- 2. 설치 면적(조작반・펌프 유닛・전원 포함)은 W3,000mm×D2,500mm 내의 공간 절약형입니다.
- 3. 터치패널 조작을 통한 성막 레시피 제어가 가능합니다.
- 4. 소량 생산기 및 실험기에 최적화되어 있습니다.
- 5. 고융점 금속(텅스텐(W) 및 몰리브덴(Mo))의 증발도 가능합니다.
사양
| 배기 펌프 | TMP＋RP |
|---|---|
| 설치 면적 | W2,800mm×D2,100mm×H2,000mm |
| 중 량: | 1,400kg |
| 전원 용량 | 본체 AC200V(3φ)／약 38.3kVA(110.5A) |