주파수 조정 장치Frequency Adjustment Equipment

  1. TOP
  2. 제품 정보
  3. 기타
  4. SFE-X2012

세계 최고 수준의 택트 타임 실현

본 장비는 수정 디바이스의 주파수 조정을 수행하는 장비입니다. 처리실과 취출실을 분리한 3 Chamber 인라인 방식을 채택하여 세계 최고 수준의 택트 타임을 실현하였습니다.
또한 SFE-B03에서 실적이 있는 고정밀·고안정·고재현성의 이송 기구를 채택하여 기존 인라인 방식에서는 어려웠던 소형 워크(1.2×1.0 이하)의 주파수 조정도 안정적으로 양산할 수 있습니다.

용도・응용 예시

대상 제품 | 수정진동자 / 수정발진기 （3225、2520、2016、1612、1210、1008）、
Tuning Fork（3215、2012、1610、1210）

특성

  1. 1. 3 Chamber 인라인 방식 채택
    아이들 타임이 적은 효율적인 동작 가능
  2. 2. 다중 소스 동시 처리
    리니어 이온 소스(빔 폭: 100mm) 2기 탑재
    장비당 최대 24개, 총 48개 동시 처리 가능
  3. 3. 고성능 이송 기구에 의한 초소형 워크(1.2×1.0 이하)의 안정적 생산
  4. 4. SANSEI DENSHI의 인라인 시스템과 연동 가능 (옵션)
  5. 5. 소형 워크 컨택트 조정 시스템 「SEARCHROID®」 (옵션)
    ※「SEARCHROID®」는 (주)쇼와진공의 등록 상표입니다.

성능

・Tact Time：0.3sec/pc 이하　※18MHz 이상의 Work로서 1열 24개 이상 장착의 경우.

・조정정도：±1.5ppm 이하

・처리수：최대 24열(p4.0)×32열

사양

배기 펌프 RP＋TMP＋MBP
설치 면적 W3,000mm×D2,100mm×H2,000mm
중 량 2,150kg
전원 용량 AC200V(3φ)／18kVA(54A)
제품 팜플렛은 여기에서