주파수 조정 장치Frequency Adjustment Equipment

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경제산업성

주파수 조정 장비의 글로벌 스탠다드

본 장비는 수정 디바이스의 주파수를 조정하는 장비입니다. 공간 절약형, 고정밀, 고생산성을 실현한 표준 모델입니다.
고정밀·고안정·고재현성의 이송 기구를 채용하여 1.2×1.0 이하의 초소형 워크도 안정적으로 생산할 수 있습니다. 2 Chamber 로드록 방식으로 처리실은 항상 진공 상태로 유지되며 이온 소스의 안정적인 작동이 가능합니다.

용도・응용 예시

대상 제품|수정진동자 / 수정발진기(3225、2520、2016、1612、1210、1008)、
Tuning Fork(3215、2012、1610、1210)

특징

  1. 1. 공간 절약, 고정밀, 저가격, 택트 타임 0.4초/개 이하 실현
    (※SMD 3.2×2.5, 24MHz, H1,000ppm/s, L50ppm/s 기준)
  2. 2. 리니어 이온 소스(빔 폭: 100mm) 탑재
    24개~32개 동시 처리 가능
  3. 3. 고성능 이송 기구에 의한 초소형 워크(1.2×1.0 이하)의 안정적 생산
  4. 4. FL 모드(부하 시 공진 주파수 자동 연산 모드) 탑재
  5. 5. 이온 소스 본체·컨택트 기구의 우수한 유지보수성
  6. 6. 이온 소스의 안정적인 작동
  7. 7. 매거진 이송·오버드라이브 기능 탑재 LD/ULD(SANSEI DENSHI 제조) (옵션)
  8. 8. 소형 워크 컨택트 조정 시스템 「SEARCHROID®」 (옵션)
    ※「SEARCHROID®」는 (주)쇼와진공의 등록 상표입니다.

사양

배기 펌프 RP+TMP
설치 면적 W1,200mm×D1,300mm×H1,800mm
중 량 1,000kg
전원 용량 AC200V(3φ)/10.3kVA(30A)
제품 팜플렛은 여기에서