화상인식시스템
초소형 제품의 자동인식 가능
화상인식으로 초소형 제품의 위치 검출, 기판상의 미세 이물질, 웨이퍼, 플랫형 또는 노치형 검출 가능
용도・응용예시
초소형 제품의 Contact 위치 조정
트레이 내에서의 제품 위치 틀어짐 검출
웨이퍼 내의 이물질 검출, 플랫형 또는 노치형 검출
※SEARCHROID는 ㈜쇼와진공의 등록상표입니다.
특징
- 1. 촬영 대상과 기준점 사이의 틀어짐을 검출하여, X·Y 스테이지를 제어해 틀어짐 보정한다.
- 2. 촬영 대상과 표준 화상를 비교하여 이상을 검출.