Batch식 진공 증착 장치
SDC-1300F
장식막 등에 적합한 표준 모델
다양한 금속막의 증착이 가능합니다.
기판 대차 2대가 부속되어, 성막 중에도 기판 교환 및 증착 재료의 교체가 가능합니다.
2대의 증발원을 채용하여, 서로 다른 2종류의
금속 재료 성막이 가능합니다.
자공전 기구 및 이온 플레이팅 기구(옵션)를 통해 복잡한 형상의 기판에도 균일한 성막이 가능합니다.
용도・응용 예
각종 장식막, 불연속막, 전자파 차폐막
특징
- 1. 내부 지그 계
자공전 지그 수량 : 6축 또는 8축
지그 공간 : 6축 φ380mm×H1,200mm, 8축 φ300mm×H1,200mm. - 2. 증발원 계
저항 가열 기구 : 2점 전환 방식. - 3. 이온 플레이팅 기구에 의한 커버리지성(밀착력) 향상 (옵션).
사양
| 배기 펌프 | DP＋RP＋MBP＋마이스너 트랩 |
|---|---|
| 설치 면적 | W3,500mm×D5,200mm×H2,700mm |
| 중 량 | 7,300kg |
| 전원 용량 | AC200V(3φ/1φ)／90kVA(300A) |