진공증착장치
Sapio 시리즈
（SGC-S900/1300/1550/1700）
배치 간 성막 재현성을 추구한 고성능 모델
용도・응용 예시
광학 다층막 필터(IR 컷 필터, 밴드패스 필터 등), 각종 반사 방지막, 증반사 미러, LED의 DBR(Distributed Bragg Reflector) 막 형성
개요
성막 재현성
신개발품 파이버식 광학 모니터, 안정적인 온도 제어가 가능한 원반형 80점 모니터 글라스를 채용. 설계대로의 특성을 얻을 수 있는 고정밀도를 실현.
막질 안정성
철저한 방출 가스 대책으로 인해 챔버 내부가 오염되어 있어도 특성뿐만 아니라 막질의 안정화를 실현.
저 파티클
배기계의 난류 대책, 증발원 근처의 오염 방지 대책 및 EB GUN의 튜닝을 통해 저 파티클화를 실현.
고출력 이온 소스
Sapio 전용 설계의 고출력 이온 소스를 탑재, 다층 광학 필터부터 수지 기판에의 막 형성까지 폭넓게 대응.
특징
- 1. 고효율 배기 시스템
- 2. 고정밀 막 두께 제어 시스템 Wavenavigator, Lafio-PLUS
- 3. 고출력・대면적 조사 RF 이온 소스 ISG 시리즈
- 4. 저 파티클 사양 (옵션)
사양
| 진공 챔버 사이즈 [mm] | φ900 | φ1300 | φ1550 | φ1700 |
|---|---|---|---|---|
| 배기 펌프 | 22 inchDP×1 마이스너 트랩 | 22 inchDP×2 마이스너 트랩 | 26 inchDP×2 마이스너 트랩 | |
| 설치 면적 | W4,000mm×D5,800mm×H2,637mm | W4,500mm×D6,000mm×H2,730mm | W4,900mm×D6,500mm×H3,166mm | W5,000mm×D7,000mm×H3,024mm |
| 중 량 | 4,685kg | 6,546kg | 9,301kg | 9,341kg |
| 전원 용량 | AC200～220V 약80kVA | AC200～220V 약89kVA | AC200～220V 약128kVA | AC200～220V 약126kVA |
재현성 성능
신개발품 파이버식 광학 모니터의 채용과, 안정적인 온도 제어가 가능한 80점 모니터 글라스 기구를 탑재함으로써 설계대로의 특성을 얻을 수 있는 고정밀도를 실현했습니다.
또한 진공 품질을 안정화시키는 기술과 오염의 영향을 받기 힘들게하는 기술을 도입함으로써, IR 컷 필터를 20배치 청소 및 보정 없이도 아래와 같은 특성을 실현했습니다.
20배치 연속 시험 결과
・조건 보정 없음 (동일 조건)
・청소 없음
・상·중·하 3 샘플 총 60개
・반직파장 680±6.5nm (T=50%)
LED용 DBR(Distributed Bragg Reflector) 막 형성
DBR가 선택되는 이유
Al막, Al+증반사막
・열변형에 의한 응력으로 결정 결함이 발생. 제품의 열화로 이어짐
・Al 반사막은 반사율 증가에 한계가 있음
DBR(유전체 다층막 미러)
・열변형에 의한 열화가 적음
・알루미늄 반사막으로는 얻을 수 없는 높은 반사율 실현
LED디바이스의 구성
DBR분광 특성 예시
고속APC+진공계
압력 변동 발생 시 영향을 받지 않도록 제어
성막 중 방출 가스 등의 영향을 억제하려면 신속한 압력 제어가 필요합니다. 고응답 진공계와 신개발된 고속 APC(자동 압력 조절기)의 조합으로 놀라운 압력 제어 성능을 실현했습니다. 물론, 갑작스러운 압력 변동도 최소한으로 억제할 수 있습니다.
고속 APC + 진공계
모니터 글래스 기구
성막 중 압력이 달라지면, 굴절률 등 막질뿐만 아니라 기판 위의 막 두께도 변동하게 됩니다. 이는 막 두께 제어를 수행하고있는 모니터 글라스와 기판 사이의 압력 분위기가 서로 다른것이 커다란 요인이며, 이 차이를 최소화할 수 있는 구조를 다양한 검증 실험을 통해 도출할 수 있었습니다. 기존의 증착기와 비교하면, 압력 변화에 따른 막 두께의 변동폭을 약 30분의 1까지 낮추는 것이 가능해졌습니다.
비접촉식 돔 회전 기구
(옵션 사양)
기어 부에서의발진 없음
회전 도입씰 부 없음
챔버 외부에서 가능하므로
유지보수가 용이함
광학 박막 제작에 있어 기판 위의 파티클 문제는 현재뿐만 아니라 앞으로도 매우 중요한 요소입니다. 이에 따라 진공 챔버 내의 발진원을 최대한 줄이는 것도 증착 장치에서 요구되는 과제로 간주되며, 접촉 없이 회전 동력을 전달하는 마그트란®을 채용한 기구도 선택 가능하게 되었습니다. 기어 등과 달리 비접촉 방식이기 때문에 마모가 없어, 무발진을 실현함과 동시에 용이한 유지보수도 가능하게 되었습니다.
※ 마그트란(MAGTRAN)®은 (주)FEC 의등록 상표입니다.