열처리(Annealing) 장치Annealing Equipment

특징

1. 1. 본 장비는 주로 수정 진동자 등의 가공 시 발생하는 내부 응력의 변형 제거 및 전극막의 안정화를 위한 열처리를 수행하는 인라인식 진공 열처리 장비입니다.
2. 2. Loading, Annealing, Cooling의 3 Chamber로 구성되어 있으며, 트레이 투입 후 어닐링부터 냉각까지 전자동으로 진행됩니다. 또한 LD/ULD를 연결함으로써 라인화가 가능하여 생산성 향상과 작업 효율 개선에 기여합니다.
3. 3. W220mm × D140mm Seam Tray 기준으로 약 440초(＝약 7분 20초)/장의 택트 타임을 실현하였습니다.
4. 4. 어닐링 공정의 완전 자동화로 인해 제품의 수율 향상에 기여합니다.

사양