고진공 어닐링 장치
SAF-52T-Ⅱ

생산 효율화 / 공간 절약
용도・응용 예시
수정진동자 등의 가공시 발생하는 내부 응력으로 인한 변형 제거,
전극막의 안정화
특징
- 1. 본 장비는 주로 수정진동자 등의 가공 시 발생하는 내부 응력의 변형 제거 및 전극막의 안정화를 위한 열처리를 수행하는 장비입니다.
- 2. W460mm × D350mm × H35mm 크기의 가열 선반이 좌/우 챔버 각5단(총 10단)으로 구성되어 있으며, 170mm × 134mm 크기의 표준 트레이를 최대 60매까지 수납할 수 있습니다.
- 3. 독립적으로 작동 가능한 2개의 챔버로서 교대로 제품을 투입/회수 할 수 있어, 생산 효율 향상 및 사이클 타임 단축이 가능합니다.
사양
| 배기 펌프 | RP+TMP |
|---|---|
| 설치 면적 | W1,700mm×D900mm×H1,700mm |
| 중 량 | 1,200kg |
| 전원 용량 | AC200V/3φ/22.4KVA (64.7A) AC200V/three-phase/22.4 kVA (64.7A) |