진공증착장치
Mega-Sapio 1700
（SGC-MS1700i）
생산량 증대를 추구하여 1대로 2대 분의 생산성을 실현
기존 Sapio1700에서 「배기 공정 단축」, 「성막 공정 단축」, 「벤트 공정 단축」, 「장치의 안정가동」, 이 네 가지를 실현했습니다. 제어계에서는 무선 모니터를 채용하여 고정밀 프로세스 제어가 가능합니다. 설치 면적은 기존 Sapio1700과 동일하며, 생산량은 2배인 양산 장비입니다.
용도・응용 예
수지 기판에서의 반사 방지막 형성
제품 예
스마트폰용 카메라 렌즈
특징
- 1. 생산량 2배 (생산 택트 1/2, 설치 면적은 기존과 동일)
- 2. 가성비 극대화 (렌즈 단가당 생산 비용 절감, 소비 전력 절감)
- 3. 기존 장치를 개조 가능 (기존 Sapio1700을 MS(Mega-Sapio)사양으로 가능)
성능
배기 공정
・High Tact 사양
배기 및 가열계에 새로운 기구를 채용
성막 공정
・고속 증착 사양
무선 모니터
신형 이온 소스를 채용
벤트 공정
・신형 벤트 기구를 채용
장치의 안정적인 운전
・운전 감시 시스템 EPIoT®를 채용
| 성능비교 ※Sapio1700기준 | ||
|---|---|---|
| 대비 항목 | Sapio 1700 | Mega-Sapio 1700 |
| ① 렌즈 적재량 | 1 | 1 |
| ② 생산 택트 | 1 | 0.48 |
| ③ 생산량 ※①/② | 1 | 2.08 |
| ④ 단위 면적당 생산성 ※37㎡ | 1 | 2.08 |
| ⑤ 성막 재현성 | ◎ | ◎ |
| ⑥ 소비 전력 ※ 생산량 당 |
1 (42kW×1.5h= 64.7kW) |
0.62 (55kW×0.7h= 39.6kW) |
수지 렌즈 풀 탑재로 생산 택트 약 53% 단축
※특정 조건의 참고 데이터이므로 보증값은 아닙니다.
레이아웃 이미지
| 설치 면적 | W (mm) | D (mm) | H (mm) | Weight (kg) |
|---|---|---|---|---|
| 장치 본체 | 2,670 | 3,200 | 3,020 | 6,700 |
| 조작반 | 625 | 2,160 | 2,385 | 650 |
| E-Beam 전원 | 570 | 760 | 1,545 | 370 |
| 펌프 유닛 | 900 | 1,491 | 1,298 | 1,200 |
| 마이스너 트랩 냉동기 | 780 | 710 | 1,710 | 400 |
사양
| 배기 펌프 | 26 inch DP×2, RP, MBP, 듀얼 마이스너 트랩 |
|---|---|
| 전원 용량 | AC200~220V / 약 134.3kVA |
| 진공 챔버 | Φ1,700mm |
| 필요 수량 | 약 8.16m3/Hr |
| 필요 압축 공기 | 0.5～0.7MPa |