광학 막 두께 제어 시스템
Lafio / APEX 시리즈
안정적이고 고정밀한 광학 막두께 제어 실현
본 시스템은 진공 증착 장비와의 조합을 통해 광학 막두께를 고정밀도로 제어합니다.
또한 조건 설정 컴퓨터 및 시퀀스와의 연동을 통해 완전 자동화를 구현할 수 있습니다.
특징
- 1. 최대 99층, 컴퓨터의 고속 연산으로 광 반사(투과)율의 피크값을 0.1% 이하의 정밀도로 검출
- 2. 레퍼런스 제어 방식으로 광량 안정성 향상
- 3. 가시광 영역과 근적외선 영역 자동 전환. 기존처럼 수광기 교체 작업이 불필요
- 4. 회절 격자를 수광기 측에 장착하여 외부광의 영향을 받지않는 구조 실현
- 5. 약 1% 수준의 광량 변화에도 정밀한 피크 검출 가능
- 6. 예측 연산 방식 채택으로 S/N비 저하 시에도 안정적인 동작 가능
광학 모니터 라인업
| 형식 | 족광파장[nm] | 광원 | 수광소자 | 광학계 | 족광 방식 |
|---|---|---|---|---|---|
| APEX | 380～2,000 | 할로겐 램프 |
Si-PD、PbS | 미러박스식 | 반사/투과 |
| Lafio Plus | 350～1,100 | Si-PD | 광섬유식 | 반사 | |
| 다이렉트 모니터 |
400～900 | CCD(Si) | 투과 |