홀 가속형 이온 소스 /
플라즈마 브릿지 뉴트럴라이저
ISH-030/PBN-80
컴팩트한 이온 소스이면서도
고출력 이온 조사를 실현
용도・응용예
광학 박막의 이온 어시스트 성막
특징
- 1. 대형 장비에 탑재해도 충분한 대전류 타입
- 2. 컴팩트하여 설치성이 뛰어남
- 3. 착화 불량이 없고, 기동 시간도 단축
- 4. 그리드리스화로 운영 비용 절감, 유지보수 시간도 단축
참고 데이터
사양
| 크기 | Φ115mm×H105mm |
|---|---|
| 애노드 전류 [mA] | 1,000～5,000mA ※Middle Power : 400V 이상은 4,000mA까지 ※High Power : 500V 이상은 3,000mA까지 |
| 애노드 전압 [V] | Middle Power：200～500V High Power：300～600V |
| 에미션 전류 [mA] | 최대: 6,500mA |
| 가스 관련 | ISH：Ar, O2 ／ PBN：Ar |