에칭용 이온 소스
IGF 시리즈
IGF-201
IGF-001
디바이스 개별 칩에 대한 에칭에 최적
소형 이온 소스에서 각종 이온 빔을 디바이스에 조사하고, 셔터와 조합함으로써 개별 에칭이 가능합니다.
용도・응용예
압전 디바이스(수정 진동자, SAW 필터 등)의 개별 에칭, 웨이퍼 평탄화 등
특징
- IGF-001: 빔 직경: 약 φ5mm
IGF-201: 빔 폭: 약 5mm × L100mm