막 두께 제어 장비Film Thickness Control System

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고정밀 막두께 모니터링 및 증착 속도 제어 가능

본 시스템은 당사가 오랜 기간 축적해온 수정 디바이스 제조 장비 기술을 바탕으로 네트워크 애널라이저를 활용한 주파수 측정 방식을 채택함으로써 기존 측정 방식에 비해 정밀도가 크게 향상되었습니다.

특징

  1. 1. 새로운 방식의 측정법
  2. 2. 막 두께 제어 정밀도 향상
  3. 3. 성막 Rate 안정성 향상
  4. 4. 수정진동자의 수명 연장 실현

성막 Rate 안정성

타사 제품 막두께 측정기

  1. ・COÅT LEADER와 타사 막두께 측정기를 각각 사용하여 수정 진동자 1개에 성막 진행
  2. ・증착 속도 안정성 측면에서, 타사 제품보다 센서를 더 오래 안정적으로 사용할 수 있음을 확인
  3. ※쇼와진공의 등록 상표입니다.