고 사용 효율 캐소드
40% 이상의 사용 효율을 실현!
기존의 5×7인치 캐소드를 개량하여, 40% 이상의 사용 효율을 갖는 캐소드를 개발했습니다.
타겟 수명 연장으로 유지보수 주기가 길어지고, 귀금속 타겟의 회수 손실 감소에도 효과가 있습니다.
용도・응용예
귀금속 타겟 및 후막 성막에 최적
특징
- 1. 최대 44%의 사용 효율을 실현했습니다.
- 2. 기존의 5×7인치 캐소드를 개조하는 것도 가능합니다.
- 3. 5×10인치 캐소드용도 라인업하고 있습니다.
※사용 효율에 대해서는 보증 대상이 아닙니다.