검증 실험Film Formation experiment

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Pre-purchase Film Formation experiment

진공장비 분야에서 고객에게 최적의 장비를 제안하기 위해, 요청에 따라 주문 전에 검증 실험을 실시하고 있습니다.
검증 실험은 스퍼터링, 증착, ALD, 트리밍, 애싱 등 다양한 방식에 대응하고 있습니다.
진공장비를 제조해온 70년의 역사와 최첨단 기업과의 공동연구를 통해 축적된 고도의 박막 형성 기술을 바탕으로, 고객의 목적과 요구에 맞춘 대응을 제공합니다.

스퍼터링

증착

ALD

트리밍

애싱

또한, 분광 엘립소미터나 형광 X선 분석 장치 등 보유 중인 다양한 측정 장비를 활용하여 분석 및 측정도 수행하고 있습니다.

Research And Development Environment

연구개발 및 검증 실험을 위한 개발동과 클린룸은 본사 사가미하라 공장의 연면적 중 약 20%를 차지하고 있습니다.
또한, 다수의 연구개발용 장비를 보유하고 있어 고객의 다양한 니즈에 대응할 수 있는 체제를 갖추고 있습니다.

개발동 외관
개발동 내 클린룸(개발용 장치 등 미설치)
개발동 내 클린룸(개발용 장치 등 설치)
계측실
개발동 외관
개발동 내 클린룸(개발용 장치 등 미설치)
개발동 내 클린룸(개발용 장치 등 설치)
계측실

Flow

Cases

Ti/TiO2장식막

연구・개발

Film Formation experiment Contact

주식회사 쇼와진공
영업본부