| 1953년 |
전신인 오마타 진공기기 연구소 설립. |
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| 1955년 |
오일 회전 진공 펌프 「MP-250」 제조 시작.
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| 1958년 |
쇼와진공기계주식회사 설립. |
| 1960년 |
수정 진동자용 진공 증착 장치 제1호기 완성. |
| 1961년 |
광학용 진공 증착 장치 제1호기 완성. |
| 1967년 |
오일 회전 펌프 「MP-250」, 가나가와현 공업전에서 우수상 수상. |
| 1971년 |
본사 및 공장을 사가미하라시 오노다이로 이전.
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| 1974년 |
수정진동자용 주파수 조정 전자동 진공 증착 장치
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| 1975년 |
영업 부문을 독립시켜 주식회사 쇼와진공 설립.
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| 1977년 |
기계 가공 부문을 독립시켜 쇼와정공주식회사 설립. |
| 1978년 |
쿼츠 시계용 주파수 조정용 전자동 진공 증착 장치 개발. |
| 1979년 |
광학용 다층막 진공 증착 장치 「SGC-22SA」 풀 모델 체인지.
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| 1983년 |
사가미하라시 카미미조에 쇼와진공 카미미조 공장(740㎡) 신축.
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| 1984년 |
MCF 크리스탈 주파수 조정용 진공 증착 장치 「SFC-71M」이 제1회 가나가와현 공업기술대상 수상. |
| 1986년 |
가나가와현 표준 공장으로 인정.
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| 1991년 |
중소기업청 모델 공장으로 지정. |
| 1994년 |
제11회 가나가와 공업기술개발대상 장려상을, 미니 인라인 방식 고주파・고정밀 수정 조정 장치 「SRC-01」 이 수상. |
| 1995년 |
수정용 베이스 전극막 부착용 스퍼터링 장치 「SPH-2500」 완성. |
| 1996년 |
MCF용 인라인 방식 수정 주파수 조정 장치 「SRM-2111C」 완성. |
| 1997년 |
사명을 주식회사 쇼와진공에서 주식회사 쇼와진공으로 변경. |
| 2000년 |
주식을 JASDAQ(점두) 시장에 상장.
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| 2001년 |
「ISO9001:2000」 인증을 전 사업장에서 취득. |
| 2002년 |
중국 상하이에 쇼와진공기계(상하이)유한공사 설립. |
| 2003년 |
중국 상하이에 쇼와진공기계무역(상하이)유한공사 설립. |
| 2004년 |
사가미하라 공장 건설. |
| 2005년 |
사가미하라 공장으로 본사 이전.
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| 2006년 |
경제산업성으로부터 「내일의 일본을 지탱하는 활기찬 제조 중소기업 300사」의 하나로 선정.
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| 2008년 |
설립 50주년 기념식 도쿄디즈니랜드에서 개최. |
| 2010년 |
주식회사 SPT 흡수 합병. |
| 2011년 |
수정 디바이스용 주파수 조정 장치 「9도현시의 반짝이는 산업기술」 수상.
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| 2012년 |
오노다이 제2공장・영업소 매각. 영업 부문은 본사・사가미하라 공장으로 이전. |
| 2014년 |
후지미 부동산(토지・건물) 매각. |
| 2015년 |
호쿠리쿠 서비스 센터 개설. |
| 2016년 |
광학 박막용 ALD 장치 「Genesis-AR Series」 개발. |
| 2018년 |
오노다이 부품 센터 매각. |
| 2020년 |
사가미하라 공장에 연구개발동(1,486㎡) 신축.
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| 2020년 |
경제산업성 인증 「Global Niche Top 기업 100선」에 선정.
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| 2022년 |
도쿄증권거래소 시장구분 재검토에 따라 JASDAQ(스탠다드)에서 스탠다드 시장으로 이행. |












