光学设备
真空蒸镀设备 SGC-S1700
最适于树脂基板的镀膜！
实现高水平的量产
概要
该设备适合量产，采用Sapio系列技术，打造出优良的性价比。
该设备适用于树脂基板的镀膜。
另，可以选择各种规格，例如RF离子源，光学监控和翻转托盘。
特长 / 选项等
- 采用高效排气系统，与φ1,300蒸镀设备相比，镀膜处理时间仅增长10％左右
- 每锅收纳基板数为φ1,300蒸镀设备的2倍以上
- 安装区域节省了空间，设计紧凑，整体高度降低
用途 / 应用例
树脂基板上形成防反射膜
光学镜
规格
- 处理方法
- 批次类型
- 排气泵
- 26英寸DP x 2 + RP + MBP +迈斯纳陷阱
- 安装尺寸
- W4,800㎜ × D7,600㎜ × H3,100㎜
- 设备重量
- 9,500 kg
- 供电能力
- AC200V（3φ） / 约135kVA
- 真空槽尺寸
- φ1,700㎜
※设备规格/外观可改良或变更。
※本产品有外汇以及战略物资根据国际贸易管理方法的规定相当出口限制物品的情况。
因而在把相符合品拿到日本国外的时候拿到日本国政府的出口许可申请需要的手续。
