真空分光特性モニター spectra-Ace（真空装置）｜株式会社昭和真空

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■ spectra-Ace 真空分光特性モニター

システムの特徴
1.	真空中で測定波長領域を瞬時に測光できます。
2.	単層膜の分光特性を測定することにより、真空中における屈折率及び、消衰係数の波長分散データーを取得できます。(FILM☆STAR使用)
3.	多層膜成膜時の層間に測定した分光特性とシミュレーションの分光特性とを比較することで、次層以降での膜厚補正が可能となります。

仕様

測光波長範囲

400～1000nm

測光範囲

透過式/反射式

分光方式

グレーティングによるツェルニターナ方式

波長精度

±1nm

露光時間

25msec￣6sec

消費電力

AC 100V　5VA

大きさ

〔本体〕	W195×H230×D110
〔電源〕	W110×H65×D150

重量

〔本体〕	5.1kg
〔電源〕	0.8kg

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。

IOJ00604-0211