| 1. |
装置概要 |
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| (1) | キャリアーストッカー |
| (2) | 真空槽ロードロック室（ドアバルブ付） |
| (3) | 真空槽スパッタ室（仕切バルブ付） |
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| 2. |
搬送機構 |
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| (1) | キャリア搬送機構 |
| (2) | キャリア入換機構 |
| (3) | キャリア成膜用往復機構 |
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| 3. |
カソード系 |
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| (1) | マグネトロンカソード |
| (2) | DC電源: Φ３インチ ３KW |
| (3) | カソード切替器 |
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| 4. |
基板ホルダー |
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350W×127H×18t（SUS-304製） |
| 5. |
排気系 |
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| (1) | ６"CRYOポンプ(ロードロック室) |
| (2) | ８"CRYOポンプ(スパッタ室) |
| (3) | ロータリーポンプ |
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| 6. |
マスフローコントローラー |
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100SCCM（Ar） |
| 7. |
外形寸法 |
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| (1) | 本体 | 1100W×2850D×1850H |
| (2) | 電源 | 640W× 700D×1850H |
| (3) | パソコンラック | 600W× 500D× 950H |
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| 8. |
ユーティリティー |
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| (1) | 電力 | 200V 3φ 50Hz 約26KVA |
| (2) | 冷却水 | 0.2MPa(20～25℃)約38L/min |
| (3) | 圧空 | 0.5MPa |
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■ 光学部品用多層メタライズ・スパッタリング装置
SPH-2025
