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■ 光学膜厚制御システム ウェーブナビゲーター SOCS-1α
光学膜厚制御システム ウェーブナビゲーター SOCS-1α
光学用真空蒸着装置の全自動化
本システムは、真空蒸着装置との組み合わせにより、光学膜厚を高精度で制御します。
更に、条件設定コンピュータ、シーケンスとの組み合わせにより、全自動化が図れます。
特徴
1. 最大99層、コンピュータの高速演算で光反射(透過)率の極値(ピーク)を0.1%以下の精度で検出します。
2. 回折格子(グレーティング)を採用。380〜2000nm間で1nmピッチで波長設定が出来ます。
3. 可視域、近赤外域が自動切替。従来のような受光器の交換作業がなくなりました。
4. 回折格子を受光器側に装備した結果、外来光からの影響を受けにくくなりました。
5. 1%程度の光量変化でも、精度良く、ピーク検出出来るようになりました。
6. DAコンバータ型ロックインアンプの採用により光量データのふらつき及びドリフトが減少しました。
7. 予測演算方式の採用により、S/N比劣時の安定動作が可能です。
仕様
1. 主仕様(SOCS-1α)
 
制御範囲 極値及び極値外
層数 最大 99層
膜厚条件 最大 99種類
極値数 最大 9
2. 単色光学モニター〔APEXシリーズ(含EXCEL)〕
 
  APEX-UV APEX APEX-IR EXCEL
波長範囲 赤外域/可視域 可視域/近赤外 赤外域 可視域/近赤外
波長域 220〜1000nm 380〜2000nm 2000〜5000nm 380〜1000nm
測光方式 反射/透過 反射/透過
分光方式 回折格子(グレーティング) 干渉フィルター
分解能 1nm 4nm
光源 Xeランプ〔75W〕 ハロゲンランプ
〔100W〕
シリコンユニット
〔130W〕
ハロゲンランプ
〔20W〕
半値幅 3.5nm/nm 14nm/nm 干渉フィルターに
準ずる
受光素子 ホトマル/
Siフォトダイオート
Siフォト
ダイオード/PbS
PbSe Siフォトダイオード


※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。

IOJ01201-0110


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