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■ インライン式 多層膜真空蒸着装置 SGS-3095
インライン式多層膜真空蒸着装置 SGS-3095
映像機器、光通信機器等に使用されている光学部品の反射防止膜、反射膜、フィルター膜等、光学多層膜を生成します。
高透過率を要求されるカメラ・ビデオカメラ・ピックアップレンズの反射防止膜(多層膜)生成を、全自動で連続して行う事が可能です。
特徴
仕込室、処理室、取出室を備えた3槽式
バッチ毎に蒸着室の真空を破壊することなく全自動で連続成膜できる為、膜品質の安定、生産性向上が図れ、 省力化に貢献できます。
光学膜厚制御システムを搭載し、シーケンスとの通信を行う事により全自動蒸着が可能
タッチパネル操作(手動操作、アラーム確認、タイマー操作等)機能
メンテナンス性が良い
光学膜厚制御システムを搭載し、シーケンスとの通信を行う事により全自動蒸着が可能
タッチパネル操作(手動操作、アラーム確認、タイマー操作等)機能
基本構成
処理室
  前扉開閉式 SUS304
基板ドーム
  φ950
主ポンプ
  油拡散ポンプ系、クライオポンプ系の選択が可能

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。



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