1. |
ビーム電流 1500mA / ビーム電圧 1500V / イオン電流密度 150μA/c㎡以上の高出力イオンソースです。 |
2. |
イオン電流密度分布±5%以下の均一性をハイパワーで達成しました。 ※Sapio-1300での測定結果です。弊社指定条件に限ります。 |
3. |
ニュートラライザーにオートマッチャーを採用し、確実な着火性能と安定化を図りました。 |
4. |
新開発コレクター電極(特許出願中)の採用により、エミッション電流3000mAの大出力を可能としました。 |
5. |
チャージアップによるパーティクル発生を予防します。 |