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■ 高出力RFイオンソース ISG-180
高出力RFイオンソース ISG-180




ISG-180グラフ

概要

広範囲で安定した放電を可能にし、光学フィルターのノンシフト膜から樹脂基板への密着性改善まで様々な用途でご使用いただけます。
放電性能においては独自のアプローチにより確実な着火と安定した放電が可能です。

特徴

1. ビーム電流 1500mA / ビーム電圧 1500V / イオン電流密度 150μA/cu以上の高出力イオンソースです。
2. イオン電流密度分布±5%以下の均一性をハイパワーで達成しました。
※Sapio-1300での測定結果です。弊社指定条件に限ります。
3. ニュートラライザーにオートマッチャーを採用し、確実な着火性能と安定化を図りました。
4. 新開発コレクター電極(特許出願中)の採用により、エミッション電流3000mAの大出力を可能としました。
5. チャージアップによるパーティクル発生を予防します。
RFイオンソース仕様と寸法
1. グリッド径 Φ180mm 3枚構成、モリブデン製
2. BEAM v 100〜1500V
3. BEAM i 100〜1500mA(MAX 1700mA)
4. ACC v 100〜1000V
5. RF POWER 1000W
6. GAS FLOW 30〜100sccm
RFイオンソース仕様と寸法
1. EMISSION 3000mA
2. RF POWER 200W
3. GAS FLOW Ar5〜20sccm
4. 外形寸法 Φ80×275H(mm)

詳細カタログはこちら

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。



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