株式会社昭和真空(真空装置)
会社情報株主・投資家の皆様へ製品情報(真空装置)保守サービス採用情報ニュースリリースお問い合わせENGLISHCHINESE
当社新技術のご紹介
トップ > 製品情報トップ > 当社新技術のご紹介 >DBR装置

LED光学多層DBR膜形成用真空蒸着装置

■ Sapio-DBR (SGC-S1550i/S1300i シリーズ)
Sapio-DBR(SGC-S1300i)  
Sapio-DBR(SGC-S1550i/S1300iシリーズ)は、LED用光学多層DBR膜用に特化した真空蒸着装置で、ドー ム内の均一性が良く、生産効率の向上を図ることが可能です。
【特徴】
1. 優れた量産性能
    基板搭載数:φ2inchウェハー約400枚/batch φ4inchウェハー約110枚/batch
    タクト:3h/batch 以内
    必要設置エリア:W4.6m×D6.3m×H3.2m
    ※SGC-S1550i 使用時
    ※水晶式膜厚計の脱着の際には工場側天井パネルの取外し等が必要な場合があります
2. 優れた再現性 連続batch保証も対応
3. 膜質の調整が可能 Chippingによる膜の損傷を抑制するための条件補正もご協力できます
【標準装備】
1. 超高速排気系
2. EB-GUN ×2式
3. RFイオンソース
4. ファイバー式光学式膜厚計
5. 6連水晶式膜厚計
6. ハロゲンヒーター(120℃±5℃内)
 

詳細カタログはこちら

※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。


【Apr-2014】
IQJ10301-1310


ページトップへ


Copyright(c) SHOWA SHINKU CO.,LTD.All rights reserved.プライバシーポリシー情報セキュリティポリシー | サイトマップ |