| ●寸法・重量 |
| 外形寸法 |
Ｗ1900mm×D1500mm×H2000mm |
| 設置面積 |
約W1900mm×D2170mm×H2230mm
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| 装置重量 |
約2500ｋｇ |
| ●所要諸元 |
| 所要電力量 |
AC200V±10％／220V±10％三相三線式 約21KVA(61A) |
| 所要水量 |
入圧：0.3～0.4MPa 差圧：0.2MPa以上 水温：20～25℃(但し運転中結露無き事)
流量：約1.2m3/hr(20L/min) |
| 所要空圧 |
供給圧：0.5～0.7MPa 設定圧：0.5MPa |
| 所要ガス |
(1)N2ガス(真空槽ベント用)
供給圧：0.2MPa以上 設定圧：0.2～0.3MPa
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(2)Heガス(トレー冷却促進用) 供給圧：0.05MPa以上
設定圧：0.02～0.03MPa
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| ●性能 |
| 到達圧力 |
9.9×10-4Pa以下(アニール室) |
| 排気時間 |
1.2×10-2Pa迄15分以下(アニール室) |
| 最高温度 |
アニール室：350℃(ヒーター棚表面温度) ※1 |
| 常用温度 |
アニール室：270℃(ヒーター棚表面温度) ※2 |
| 均熱温度 |
270℃±7.5℃(ヒーター棚表面温度) ※3
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| タクトタイム |
18分以内/トレー ※4 |
| 排気系 |
ターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ、メカニカルブースターポンプ |
| 真空計 |
電離真空計×1、ピラニー真空計×3
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※1.2 温調器指示値の値となります。
※3 ヒーター棚にトレーを搭載していない状態での温度分布です。
※4 ワーク搭載数はトレー1枚当り750個とします。加熱時間を2時間とした設定で、2枚目以降のトレーが排出される間隔の時間です。取出室での冷却促進用ガスの種類により、タクトタイムに影響が出る場合があります。日本アビオニクス製トレー（220×140）を使用します。
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■ インライン式真空アニール装置
SAF-12T
