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■ インライン式真空アニール装置 SAF-12T
インライン式真空アニール装置 SAF-12T
 
【特徴】
1.
 
本装置は、主に水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、電極膜の安定化の為に熱処理を行う為のインライン式真空熱処理装置です。
2.
 
仕込室、処理室、冷却室の3室からなり、トレー仕込後、アニールから冷却まで全自動で行います。また、LD/ULDを接続することでライン化が可能になり、生産性の向上と省力化に貢献します。
3. 220×140mmのトレーで18min/枚のタクトタイムを実現しました。(※4)
4.

アニール工程のフルオートメーション化により、歩留向上に貢献します。

【所要諸元及び性能】
●寸法・重量  
外形寸法 W1900mm×D1500mm×H2000mm
設置面積
約W1900mm×D2170mm×H2230mm
装置重量 約2500kg
●所要諸元
所要電力量 AC200V±10%/220V±10%三相三線式 約21KVA(61A)
所要水量 入圧:0.3〜0.4MPa 差圧:0.2MPa以上 水温:20〜25℃(但し運転中結露無き事) 流量:約1.2m3/hr(20L/min)
所要空圧 供給圧:0.5〜0.7MPa 設定圧:0.5MPa
所要ガス

(1)N2ガス(真空槽ベント用) 供給圧:0.2MPa以上  設定圧:0.2〜0.3MPa

(2)Heガス(トレー冷却促進用) 供給圧:0.05MPa以上  設定圧:0.02〜0.03MPa
●性能
到達圧力 9.9×10-4Pa以下(アニール室)
排気時間 1.2×10-2Pa迄15分以下(アニール室)
最高温度 アニール室:350℃(ヒーター棚表面温度) ※1
常用温度 アニール室:270℃(ヒーター棚表面温度) ※2
均熱温度
270℃±7.5℃(ヒーター棚表面温度)   ※3
タクトタイム 18分以内/トレー ※4
排気系 ターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ、メカニカルブースターポンプ
真空計
電離真空計×1、ピラニー真空計×3
 

※1.2 温調器指示値の値となります。
※3 ヒーター棚にトレーを搭載していない状態での温度分布です。
※4 ワーク搭載数はトレー1枚当り750個とします。加熱時間を2時間とした設定で、2枚目以降のトレーが排出される間隔の時間です。取出室での冷却促進用ガスの種類により、タクトタイムに影響が出る場合があります。日本アビオニクス製トレー(220×140)を使用します。


※本仕様・構成は予告なく変更する事がございますので、ご了承下さい。
※本製品は、外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、日本国政府への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。

IQJ07801-0903


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