昭和真空の歩み｜株式会社昭和真空

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1953年	前身である小俣真空機器研究所設立。
1955年	油回転真空ポンプ「MP-250」の製造開始。
1958年	昭和眞空機械株式会社を設立。本社・工場を川崎市中原区宮内に置く。
1960年	水晶振動子用真空蒸着装置の第1号機完成。
1961年	光学用真空蒸着装置の第1号機完成。
1967年	油回転ポンプ「MP-250」神奈川県工業展にて優秀賞受賞。
1971年	本社・工場を相模原市大野台に移転。
1974年	水晶振動子用周波数調整全自動真空蒸着装置「SC-6SA」を完成。
1975年	営業部門を独立させ株式会社昭和眞空を設立。
1977年	機械加工部門を独立させ、昭和精工株式会社を設立。光学部品市場向けの多層膜真空蒸着装置を開発（光学部品市場への参入）。
1978年	クォーツ時計用の周波数調整用全自動真空蒸着装置を開発。日本真空技術株式会社（現株式会社アルバック）と技術提携を主とした業務提携契約を結ぶ。効率的な組織運営を図るため、株式会社昭和眞空を吸収合弁する。社名を昭和眞空機械株式会社より、株式会社昭和眞空に変更する。
1979年	光学用多層膜真空蒸着装置の「SGC-22SA」をフルモデルチェンジする。
1981年	大野台工場内にC棟（884m2）を新築。
1983年	相模原市上溝に昭和真空上溝工場（740m2）を新築。
1984年	MCFクリスタル周波数調整用真空蒸着装置「SFC-71M」が第1回神奈川工業技術大賞を受賞。
1986年	神奈川県標準工場に認定される。大野台第2工場（2534㎡）完成。が代表取締役社長に就任。
1991年	中小企業庁モデル工場に指定される。
1994年	第11回神奈川工業技術開発大賞奨励賞をミニインライン方式高周波・高精度水晶調整装置「SRC-01」が受賞。
1995年	水晶用ベース電極膜付用スパッタ装置「SPH-2500」を完成。
1996年	MCF用インライン方式水晶周波数調整装置「SRM-2111C」を完成。
1997年	社名を株式会社昭和眞空より、株式会社昭和真空へ変更する。日本真空技術株式会社（現株式会社アルバック）との技術提携を主とした業務提携契約を解除し、新たに中華人民共和国における営業活動及び宣伝広告、展示会出展に関する業務契約を締結。
1999年	日本真空技術株式会社（現株式会社アルバック）と既存業務契約を解除し、新たに商標使用及び業務の相互協力に関する覚書を締結。
2000年	資本金を30,874万円に増資する。相模原市南橋本に新開工場（1,365m2）を新設。相模原市小町通に小町工場（2,112m2）を新設。株式をJASDAQ（店頭）市場へ上場。資本金を143,074万円に増資する。
2001年	「ISO9001：2000」の認証を全事業所で取得。
2002年	中国上海市に昭和真空機械（上海）有限公司を設立。米オハイオ州にSansei-Showa Co.,Ltd.USA を設立。
2003年	中国上海市に昭和真空機械貿易（上海）有限公司を設立。有機ＥＬ素子評価用蒸着装置「SEC-08C」を完成。
2004年	相模原工場建設。フルモデルチェンジした新型光学用多層真空蒸着装置「SGC-1300R」を完成。公募増資により資本金を213,634万円に増資する。水晶デバイス電極膜形成用スパッタ装置「SPH-2710」を完成。光学薄膜の研究子会社　株式会社SPTを設立。大野台第二工場改修及び同工場に営業所を移転。
2005年	相模原工場内に本社を移転する。「ISO14001.2004」の認証を取得。
2006年	超小型水晶デバイス周波数調整装置「SFE-6430」及び「SFE-X03」を開発。経済産業省から「明日の日本を支える元気なものづくり中小企業300社」の一社に認定された。株式会社エフ・イー・シーの全株式を取得し子会社化。
2007年	大阪府茨木市に西日本カスタマーサポートセンターを開設。
2008年	設立50周年式典を東京ディズニーランドで開催。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　水晶ベース用スパッタリング装置「SPC-1000W」及びARスパッタリング装置「SPS-208CW」を開発。
2010年	株式会社SPTを吸収合併。